F50 系列自動膜厚測量系統(tǒng)能以每秒測繪兩個點的速度快速測繪薄膜厚度,一個電動R-Theta 平臺可接受標準和定制化夾具,樣品直徑最大可達450毫米。測繪圖案可采用極坐標、矩形或線性方式,您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,并且不受測量點數(shù)量的限制,F(xiàn)50軟件中內(nèi)建數(shù)十種預定義的測繪圖案。
不同的F50儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的, 一般較短的波長 (例如F50-UV) 用于測量較薄的薄膜,而較長的波長(例如F50-NIR)則用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。