Filmetrics F54 系列產(chǎn)品集成顯微成像裝置，可以自動(dòng)測(cè)量微觀(guān)區(qū)域的薄膜厚度分布，光斑尺寸可做到1um。F54采用電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)，并以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速完成薄膜厚度的測(cè)繪，樣品直徑最大可達(dá)450毫米，F(xiàn)54內(nèi)建數(shù)十種同心圓，矩形或線(xiàn)性圖案模式，也可自行建立無(wú)數(shù)量限制的測(cè)量點(diǎn)。

      F54 連接電腦后, 可在幾分鐘內(nèi)輕松完成設(shè)置，不同的型號(hào)主要由厚度和波長(zhǎng)范圍作為區(qū)別，通常較薄的薄膜需要用較短的波長(zhǎng)來(lái)測(cè)量(如F54-UV) ，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)(如F54-NIR) 用來(lái)測(cè)量更厚，更粗糙或更不透明的薄膜。