Filmetrics F60-t 系列主要用于生產(chǎn)環(huán)境下的薄膜厚度自動測繪，像F50產(chǎn)品一樣自動測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能，包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，還有可以升級到全自動晶圓傳輸?shù)臋C型。不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長范圍加以區(qū)分。 較短的波長 (例如F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。